Maqsad bo'yicha
Bosim{0}}sezgir va kuch-sezgirlar, joylashish datchiklari, suyuqlik darajasi sensorlari, energiya sarfi datchiklari, tezlik datchiklari, tezlanish datchiklari, nurlanish datchiklari, termal datchiklar.
printsip bo'yicha
Vibratsiya sensori, namlik sensori, magnit sensor, gaz sensori, vakuum sensori, biologik sensor va boshqalar.
Chiqish signali bo'yicha
Analog sensor: o'lchangan bo'lmagan{0}}elektrik miqdorni analog elektr signaliga aylantiring.
Raqamli sensor: o'lchangan elektr miqdorini{0}}raqamli chiqish signaliga (jumladan, to'g'ridan-to'g'ri va bilvosita konvertatsiya) aylantiring.
Psevdo-raqamli sensor: o'lchangan signal miqdorini chastotali signalga yoki qisqa{1}}davr signaliga (jumladan, to'g'ridan-to'g'ri yoki bilvosita konversiyaga) aylantiring.
Sensorni o'zgartirish: o'lchangan signal ma'lum bir chegaraga yetganda, sensor mos ravishda past-daraja yoki yuqori{1}}darajali signalni chiqaradi.
Uning ishlab chiqarish jarayoniga ko'ra
Sensor (3-rasm)
Sensor (3-rasm)
Integratsiyalashgan datchiklar kremniy asosidagi yarimo'tkazgichli integral mikrosxemalar-ishlab chiqarish uchun standart texnologik texnologiyalar yordamida ishlab chiqariladi. Odatda sinovdan o'tayotgan signalni dastlabki qayta ishlash uchun sxemaning bir qismi ham xuddi shu chipga birlashtirilgan.
Yupqa plyonka sensori dielektrik substratga (substrat) mos keladigan sezgir materialning yupqa plyonkasini yotqizish orqali hosil bo'ladi. Gibrid jarayondan foydalanilganda, sxemaning qismlari ham ushbu substratda ishlab chiqarilishi mumkin.
Qalin plyonka sensori odatda Al2O3 dan tayyorlangan keramik taglikka mos keladigan materialning shlamini qoplash orqali tayyorlanadi va keyin qalin plyonka hosil qilish uchun-issiqlik bilan ishlov beriladi.
Seramika datchiklari standart keramika jarayoni yoki uning variantlaridan biri (sol, jel va boshqalar) yordamida ishlab chiqariladi.
Tegishli tayyorgarlik operatsiyalaridan so'ng, hosil bo'lgan element yuqori haroratda sinterlanadi. Ikki jarayon o'rtasida ko'plab umumiy xususiyatlar mavjud, ular qalin{0}}plyonka va keramika datchiklari va ba'zi jihatdan qalin{1}}plenka jarayonini keramika jarayonining o'zgarishi deb hisoblash mumkin.
Har bir jarayon texnologiyasi o'zining afzalliklari va kamchiliklariga ega. Tadqiqot, ishlab chiqish va ishlab chiqarish uchun zarur bo'lgan kam kapital qo'yilmalar, shuningdek, sensor parametrlarining yuqori barqarorligi tufayli keramika va qalin plyonkali datchiklardan foydalanish oqilona.
O'lchov bo'yicha
Jismoniy sensorlar o'lchangan moddalarning ma'lum fizik xususiyatlarining xususiyatlarini sezilarli darajada o'zgartirish orqali amalga oshiriladi.
Kimyoviy sensorlar kimyoviy moddalarning tarkibi va kontsentratsiyasi kabi kimyoviy miqdorlarni elektr miqdoriga aylantira oladigan sezgir elementlardan iborat.
Bio{0}}sensorlar - bu organizmlardagi kimyoviy komponentlarni aniqlash va aniqlash uchun turli organizmlar yoki biologik moddalarning xususiyatlaridan foydalanadigan sensorlar.
tarkibiga ko'ra
Asosiy sensor: Bu eng asosiy yagona konversiya qurilmasi.
Kombinatsiyalangan sensor: Bu turli xil yagona konversiya qurilmalari birikmasidan tashkil topgan sensor.
Ilova sensori: Bu asosiy sensor yoki birlashtirilgan sensor va boshqa mexanizmlardan tashkil topgan sensor.
Harakat shakli bo'yicha
Harakat shakliga ko'ra uni faol va passiv datchiklarga bo'lish mumkin.
Faol sensor harakat turi va reaktsiya turiga ega. Ushbu turdagi sensor o'lchangan ob'ektga ma'lum bir aniqlash signalini yuborishi, o'lchangan ob'ektdagi aniqlash signalining o'zgarishini aniqlashi yoki o'lchangan ob'ektda qandaydir aniqlash signalini yaratishi mumkin. signal hosil qilish uchun effekt. Aniqlash signalining o'zgarishini aniqlash rejimi harakat turi deb ataladi va javobni aniqlash va signalni shakllantirish rejimi reaksiya tipi deb ataladi. Radar va radiochastota diapazoni detektorlari faol misollar, fotoakustik effekt analizatorlari va lazer analizatorlari esa reaktiv misollardir.
Passiv sensorlar faqat o'lchangan ob'ektning o'zi tomonidan yaratilgan signalni qabul qiladi, masalan, infraqizil nurlanish termometrlari, infraqizil kameralar va boshqalar.
